仪器型号 SY-554 SY-564 SY-8106测量行程 500*500*400（XYZ） 500*600*400（XYZ） 800*1000*600（XYZ） 光学尺解析度 0.5um 0.5um 0.5um 测量软件 美国IQCMM-MANAGER软件 接触式测头 英国RENISHAWMCP(MH20i+TP20选配） 操作方式 手动 线性精度 E=3+L/300um E=3+L/300um E=3+L/300um 重复性精度 3um 3um 3um 仪器重量 800kg 850kg 2500kg 全机尺寸 1100 1300 2300mm 1100 1400 2300mm 1500 1900 2800mm 工件限高 400mm 400mm 500mm 工件限重 300KG 300KG 800KG 环境要求 温度:20 2℃ 湿度:60 5%