三次元:ES－CMM（手動）技術參數　　行程範圍500mm 600mm 400mm　　分辨率0.5um　　使用環境溫度（20℃ 2℃）溫度55％－56％　　空氣壓力0.4MPa-0.5MPa　　空氣流量100L／min-120L／min　　整機尺寸1.2m 1.4m 2.2m　　整機承重500kg　　整機重量850kg　　控制軟件CMM-Manager（美國IQ）　　探測係統RENISHAW（英國）MH20I＋TP20　　空間探測精度（E）（3.5＋L／300）um　　ES－CMM全自動技術參數　　　行程X軸800mm1000mm1200mm　　Y軸1000mm1200mm1500mm　　Z軸600mm800mm1000mm　　結構模式活動橋式　　傳動方式直流伺服係統／預載荷高精度空氣軸承　　長度測量係統RENISHAW開放式光柵尺，分辨率為0.5um（可選配0.1um）　　機臺高精度花崗石平臺（00級）　　使用環境溫度（20＋／-2）度，溫度55％-66％，溫度梯度1度／米，溫度變化1度／小時　　空氣壓力0.4MPa-0.5MPa　　空氣流量100L／min-120L／min　　整機尺寸（LWH）2.0mx1.5mx2.7m2.3mx1.8mx3.0m2.6mx2.1mx3.3m　　機臺承重1000kg　　整機重量2000kg　　2200kg2500kg　　控制係統RENISHAWUCC1　　操作方式計算機自動控制＋微電腦操縱盒（RENISHAWMCU1）　　控制軟件CMM-Manager（美國IQ）標準版（可選配CAD模塊）　　探測係統RENISHAWMH20i＋TP20（標準配置）　　RENISHAWPH10T＋TP20（高級配置）　　RENISHAWPH10M＋TP20（可加激光掃描測頭，選配）　　空間測量精度（E）（3＋L／300）um.