特征★线性热变形设计★三轴滚动导轨与花岗石气浮导轨的选择★隔震底箱设计技术★测头各种测量姿态保证测端球心对中★专利技术实现手动测量路径教学与测控自学习避障的矢量控制配置技术规格型号X(mm)Y(mm)Z(mm)11121-0.8-0.510008005001.5-1-0.5150010005002-1.5-12000150010002.5-2-1250020001000精度等级：A、B、C三级精度等级单轴精度(um)空间精度(um)R11自到A2+2L/10003+3.5L/10005B3+4L/10005+6L/10008C5+6L/100010+10L/100010