一、技术参数行程范围：X轴------500mmY轴------600mmZ轴------400mm结构型式：活动桥式传动方式：柔性齿型同步带+预载荷高精度空气轴承长度测量系统：RENISHAW（英国）开放式光栅尺，分辨率为0.5 m机台：高精度花岗岩平台使用环境：温度(20 2)℃，湿度55%-65%，温度梯度1℃/m温度变化1℃/h空气压力：0.4MPa-0.5Mpa空气流量：100L/min 120L/min整机尺寸：1.2mX1.4mX2.2m机台承重：500kg整机重量：850二、产品特点 1、整机设计采用单边活动桥式结构，该结构紧凑，大幅降低了活动框架的重量，显著提高了系统的运动性能，确保了测量精度及稳定性。 2、三轴导轨均采用高精密天然花岗岩，使三轴具有相同的温度特性，保证测量过程中良好的温度稳定性及刚性。 3、三轴导轨均采用自洁式预载荷高精度空气轴承，使运动更平稳，导轨永不受磨损。 4、长度测量系统采用英国RENISHAW的自粘开放式金属光栅尺，使光栅尺与花岗岩基体的热膨胀系数接近，从而提高设备的稳定性。5、控制系统采用英国RENISHAW的UCCLITE高速高精度自动控制系统，该系统内嵌32位微处理器，真正实现实时控制。