一、技术参数行程范围:X轴------500mm Y轴------600mm Z轴------400mm 结构型式:活动桥式传动方式:(德国)高精密光杠+预载荷高精度空气轴承长度测量系统:RENISHAW(英国)开放式光栅尺,分辨率为0.5 m机台:高精度花岗岩平台使用环境:温度(20 2)℃,湿度55%-65%,温度梯度1℃/m 温度变化1℃/h空气压力:0.4MPa-0.5Mpa空气流量:100L/min 120L/min整机尺寸:1.2mX1.4mX2.2m机台承重:500kg整机重量:850kg探针测量系统:1.控制软件:SEREINDMISV2.02.操作方式:手动3.探测系统:RENISHAW(英国)MH20i4.测量不确定度(E):(3.5+L/300) m