特征★三轴优质铸铁框架★三轴滚动导轨★Z轴花岗石软接触高精度滚动导轨★测头各种测量姿态保证测端球心对中★配备微型坐标测量挂架★X轴双标尺伺服同步驱动★Z轴支架铝合金结构★测量挂架与工作台可分离或duli★测量系统与工作平台分离设计★温度补偿技术规格型号X(mm)Y(mm)Z(mm)11123-1.5-13000150010005-1.5-15000150010008-2-1.5800020001500精度等级：A、B、C三级精度等级单轴精度(um)空间精度(um)R11自到A3+3L/10005+5L/100010B5+5L/10008+8L/100015C8+8L/100015+15L/100020分辨率0.001mm