主要特征: 先进的全铝技术，横梁与Z轴采用表面硬质阳极化航空铝合金，温度一致性极佳；并降低了运动部件的质量和测量机在高速运行时的惯性，保证高速高精度? 三轴导轨均采用高精度自洁式空气轴承，运动更平稳，导轨永不受磨损? 三轴均采用高精度欧洲进口光栅尺，系统分辨率可达0.078um；同时采用一端固定，一端自由伸缩的方式安装，减少了光栅尺的变形，保证在温度变化时的线性伸缩? X向采用精密60 三角梁专利技术，相比矩形横梁，重心更低，质量刚性比最佳，运动更加可靠? Y轴采用整体燕尾式导轨，在降低机器重量的同时，有效消除了运动扭摆，保证了测量精度和稳定性? Z向采取获得专利的气动平衡技术，采用柔性悬挂系统，避免了轴向运动和传动系统之间的干涉问题，提高了测量机的精度和长期稳定性? 各运动轴均采用直流伺服驱动+增强型同步带，确保运动的平稳和准确定位? 采用海克斯康为Croma专业打造的IDC-Ⅰ控制系统，21项误差空间修正技术和自动调偕功能，保证了机器的动态性能和测量精度? 软件为业界标杆的PC-DMISBASIC(/PC-DMISPREMIUM)，功能强大，易学高效规格型号与技术指标: