机型LSM-500HLSM-501HLSM-503HLSM-506HLSM-512H型号544-552544-553544-555544-556544-558544-559544-572544-573544-575544-576检验标准FDAIECFDAIECFDAIECFDAIECFDAIEC测量范围0．005-2mm0．05-10mm0．3-30mm1-60mm1-120mm最小读值0．00001-0．01mm0．00001-0．01mm0．00002-0．1mm0．00005-0．1mm0．0001-0．1mm重现性 0.04um 0.05um 0.15um 0.5um 1.2um直线性 0.3um 0.5um 1.0um 3m 6um位置误差 0.4um 0.5um 1.5um 4m 8um测量区域1x2mm当0.05-0.1mm时为2X10mm；当0.1-10mm时为4X10mm10X30mm20x60mm30X120mm扫描频率1600回/秒1600回/秒1600回/秒1600回/秒1600回/秒扫描速度38m/s57m/s113m/s226m/s452m/s环境温度0-40℃环境湿度35-85%