可自动进行表面粗糙度和轮廓度的测量測定範圍X軸:100mmZ1軸:800 m/80 m/8 mZ2轴（立柱）移动量300mmX轴倾斜范围 45 标尺X轴：光栅尺Z1轴（检出器）：差动电感式Z2轴（立柱）：ABS光栅尺 分辨率X轴：0.05 mZ1轴（检出器）：0.01 m/800 m，0.001 m/80 m，0.0001 m/8 mZ2轴（立柱）：1 m驱动速度X轴：0-80mm/s和手动Z2轴（立柱）：0-20mm/s和手动测量速度0.02-5mm/s直线度（X轴在水平方向上）（0.05+0.001L） m，L=移动长度（mm）探针上/下操作弧度移动探针针尖方向朝下测力0.75mN-4mN探针针尖尺寸（标准附件）60 ，R2 m-90 ，R5 m基座材料（花岗岩）重量主机：140kg控制器：14kg遥控器：0.9kg工作湿度范围15 C至25 C（校正和测量时段内，温差不超过 1 C）工作湿度范围20-80%RH（无凝结状态）保存湿度范围-10 C至50 C保存湿度范围5-90%RH（无凝结状态）电源规格100-120VAC，200-240VAC 10%，50/60HZ电源消耗（仅主机400W