測定範圍: X軸:100mm Z軸:40mm驅動部真直度精度: 3.5μm/100mm驅動部上下移動量: 320mm驅動部傾斜角度: ±45°測針追蹤角度: 向上:77° 往下:87°驅動速度:測定速度:0.2,0.5mm/s回程速度:0.5mm/s,手動可 測針上下作動:圓弧運動(R=375mm)測定力: 1~3gf(30mN)光學尺,分解能X軸0.2μm,Z軸0.5μm指示精度:X軸:±(3.5+0.02L/100)μm,Z軸:±(3.5+|4H|/25)μm測定倍率X軸:1,2,5,10,20,50,100,200倍Z軸:1,2,5,10,20,50,100,200倍數值輸出: RS-232C重量: 本体部:約116kg電源: ViaACadapter(100~240VAC,50/60Hz)