技术参数分度值：0.002mm 心轴螺距：0.1mm 心轴面：sks3球面（硬度大于HRC60)，磨光表面 标尺面：硬铬镀层 锁紧螺母可固定厚度：6mm(4mm:148-243)特点0.1mm/rev心轴微调进给用于超精细调整和定位。外形尺寸于常规0.5mm螺距微分头一致。应用半导体晶片定位设备和光学组件调整单元等。标准精细螺纹微分头和标准常规螺纹微分头在半测量范围行进定位的安装尺寸比较精细螺纹微分头的测量范围喂6.5mm，而常规螺纹微分头的测量范围为13mm .在替换常规微分头可作用在心轴中间行程的共同范围内。标准和紧凑型的精细螺纹微分头是完全可互换的。