采用双重闭环运动控制,电机在高速运动时具有精确的定位性能。☆采用本公司开发的嵌入式模块控制电机,提高了电机响应速度，还简化了仪器与PC机的接口,PC机与仪 器USB线与S端子线连接。☆采用花岗岩平台，外观简洁大方。☆表面光由独立24组光源组成，每一组均为恒流源驱动，200极连绩可调☆配有我公司专用M2D-CNC软件，大大提高测量效率。