1. 卓越的观察/测量性能2.0.1UM的分辨率和150MM/200MM的Z轴范围3.采用远心光学设计物镜,可提供更锐利的图像,在测量台阶时可精确对焦,无段差。4.可通过更换物镜调节倍率5.可通过工作台上的快速释放系统在粗动和微动之间进行即时切换6.可使用同轴照明光源或环形照明光源7.可通过图像导航功能时行快速测量 技术参数:型号VTM-E2010VTM-E3020测量范围X200mm300mmY100nn200mmZ150mm200mm分辨率0.001mm/0.0001mm长度标准线性编码器测量精度(3+L/200)um L为被测长度 单位:mm最大工件重量10KG图像检测装置SONY 1/2 高分辨率彩色CCD摄像机照明轮廓柯勒照明,孔径光阑可调,超亮白色LED,连续可调表面物方远心光路,超亮白色LED,连续可调最大工作高度170mm210mm电源110V-240V