一、(高频压力传感器) 在军事工程、化爆试验、石油勘采与试井、材料、力学、土木工程学、岩土力学、创伤医学、液压动力
机械试验等科学试验与现代化仪器仪表中,需要不失真地测量一些变化频率高、压力波形上升快陡的动态压力波形与幅值、有效值,这就要求所用压力传感器具有高的固有频率、极短的上升时间和宽广优良的响应频带,以保证足够的动态测压精度,本系列产品即是为此设计开发的,它利用微机械加工技术使得集成硅膜片有效尺寸小,固有频率高;有优良的弹性力学特性,综合性能优于压电动态压力传感器,是动态测压的首选。产品型号: 1、特 点:采用感压膜片齐平封装设计,彻底消除管腔效应,因而传感器频响极高。 2、量程及动态特性:量 程 MPa124610204060100固有频率 KHz1802403202503204506008001000上升时间 s110.50.50.50.30.30.20.2 3、工作介质温度:-40℃~105℃,特殊措施下可耐瞬时超高温2000℃/20ms 4、补偿 温 度:J级-10℃~60℃;M级0℃~50℃。亦可按用户要求特订。 5、抗光 敏 感:J级可加强抗红外及可见光;M级抗可见光 6、精度 档 级: 指标 零点时漂 零位温度系数 灵敏度温度系数 不重复性、迟滞 档级 mv/8h 10-4/℃.FS 10-4/℃.FS非线性 %FS %FS TA 0.1 33 0.5 0.3 TB 0.1 11 0.2 0.1 TA 0.2 55 0.5 0.3 TB 0.15 33 0.2 0.2