一、HP-2氦气纯化器纯化气体：He、Ar、Ne、Kr、Xe、Rn最大操作压力：1000Psi去除气体：H2、O2、N2、CO、CO2、CH4、H2O、NO、NH3、CF4等残留浓度： 10ppbValco氦气（HP）纯化器的纯化基质是一种无挥发性的吸附性合金，吸附剂粒子表面有一层氧化膜需通过加热活化，活化过程必须在真空或惰性气体环境下完成，这样可允许氦气在其间自由扩散，防止氧气纯化层的形成，又可以进行杂质气体的吸附。HP的吸附剂材料具有良好的热稳定性，包括两个温度控制范围。 二、NP-2氮气纯化器 纯化气体：只纯化N2不纯气去除：输入气杂质浓度在10ppm纯化输出低于10ppbH2O,H2,O2,NO,NH3,CO,CO2,CH4,其他气体去除包括CF4,CCl4,SiH4,H2不被去除的：He,Ar,Ne,Kr,Xe,Rn