适用于真空喷涂工业 Alicat的MCV质量流量控制器是根据真空涂层和喷溅过程中所要求快速关闭功能而设计的。一个启动截止阀是常闭的，并且保证一个大气压下氦气最大泄露为1x10-9下有效的关闭。 MCV质量流量控制器采用的是与其他alicat产品一样的层流差压式专利技术。在速度和精度需要计算时，MCV所体现的完美的精度和响应时间。 Alicat的MCV可以在响应时间为50-100ms的条件下控制从0.5sccm的小流量到20slpm的大流量-响应时间可以大大的改良你的最终产品，并且帮助排除误差。 每个MCV都是预先设定的30种校准气体和显示质量流量、体积流量、绝压和温度。Alicat的MCV也可以直接通过设备的按键或者RS-232来编程设定，使用RS-232可以通过一对线串联最多26台设备。 MCV供电电压为12-30Vdc，单一输入和输出暴漏0-5Vdc。0-10Vdc、4-20mA和RS-232（可选PROFIBUS）特点和优点响应时间50-100ms量程0.5sccm-20slpm 模拟和数字通信（可选PROFIBUS）30种预设定校准气体 精度 0.8%的读数 0.2%满刻度 可选高精度 0.4%的读数 0.2%满刻度 操作量程1%-100%数字显示质量流量、体积流量、绝压和温度无预热时间 小巧设计，方便替换其他设备 保证标准大气压下氦气最大泄露1x10-9的气动截止阀 终身维修MCV质量流量控制器技术参数 性能MCV质量流量控制器描述精度 0.8%的读数 0.2%满刻度在没有流量条件下校准高精度选项 0.4%的读数 0.2%满刻度在没有流量条件下校准重复性 0.2%满量程操作量程1%-100%的满量程测量和控制响应时间100毫秒（可调）标准状态（STP）25 14.696PSIA仅测量质量流量用操作温度-10～50℃零点漂移0.02％满量程/℃/Atm 量程漂移0.02％满量程/℃/Atm湿度范围0-100%无冷凝控制流量范围102.4%满量程最大耐压145PSIG输入/输出数字信号质量流量、体积流量、绝压和温度RS-232或PROFIBUS输入/输出模拟信号质量流量0-5VDC可选输入/输出第二路模拟质量流量、体积流量、绝压或温度0-5VDC,0-10VD或4-20mA电气连接8针或者DB-15 供电电压：质量流量计12-30Vdc（15-30Vdc或者4-20mA输出） 供电电流：质量流量计0.300Amp 安装位置敏感度无 预热时间＜1秒阀泄漏率1x10-9标准大气压sccm/s氦气最大 接液材质316L不锈钢；FFKM(Kalrez)标准；Viton ；EDPM；Buna一些气体所需的氯丁橡胶；质量流量控制器还附加303不锈钢，430不锈钢1、 高精度选项不包括量程低于5sccm2、 如果选择PROFIBUS通信，则没有模拟信号可选。PROFIBUS的设备不带显示，看PROFIBUS性能所需的供电电压和电流3、 如您需要特殊材质，请联系Alicat公司咨询