LF-400 普通型 SERIES 概要 LF400系列采用温度变化对应于质量流量的原理，可以对不同的气体进行流量量测及控制。 可应用在5SCCM到30SLM的气体流量范围，并且不会受到温度及压力变化的影响。产品系列完整，可选择数字式，模拟式，普通，高精度，高压力型，性能且价格具有竞争力，应用领域广泛。特点 o 模拟式热质式流量计/流量控制器：- 低单价- 环境温度补正- 可应用的流率范围广：- 0～5，10，20，30，50，100，200，500SCCM- 0～1, 2, 3, 5, 10, 15, 20, 30SLMo 精度 1.5%( 30SLM)o 可选用LF系列控制模块，具有数位显示、电源供应、流量设定等功能o 国际兼容 应用 o 工业设施的气体供应监测/控制。o 气体分析设备。o 固定气体流量控制。o 气体混合或分离设备标准 气体质量流量用氮气(N2)标定。标准状态规定为：标准温度 0℃（273.15K）标准压强 101325Pa输入输出 输入设定电压 0～+5.00V输出电压检测 0～+5.00V规格 (热式) 功能流量计/控制器基本型号 LF400-A2满量程流量范围(N2)SCCM0～5，10，20，30，50，100，200，500SLM0～1, 2, 3, 5, 10, 15, 20, 30精度(％F.S) 1.5( 15SLM) 2(＞15SLM.)控制阀动作型式常闭式线性(％F.S.) 0.5～1( 15SLM) 1.5％(＞15SLM.)重复精度(％F.S.) 0.2响应时间(sec) 1流量输出信号0-+5.00V流量设定信号0-+5.00V电器接头DB15 pin(接头)工作环境温度(℃)5～45工作压差(MPa)0.05～0.5漏率SCCSHe1 10-9最大耐压3MPa介质接触材质304，316，316L密封材料氟橡胶，硅橡胶，丁腈橡胶，聚四氟乙烯接头尺寸VCR 1/4，1/2Swagelok1/8 、1/4 、3/8 、1/2 或 3、 6、 8、 10、 12mm电源要求+15V,50mA;-15V,200mA型号 LF400-A2 □ □ － □□□ － □□□－□□□型式A模拟式B数字式功能 M流量计C流量控制器流量范围 ABC 气体种类 013N2008Air015O2004Ar025CO2001HeFFF其他接头1/4 VCR1 1/2 VCR23 SWL36 SWL4其他F讯号DC 0~5V1 其他2电源DC+/-15V1 流量范围是以mL/min，L/min 为单位 例：5mL/min 表示为005500mL/min表示为500 50 L/min(nor) 表示为50L