F.S.流量 N2换算10SCCM-20SLM 传感器方式热式质量流量传感器 阀执行机构电磁常闭 阀方式提升阀 控制控制范围1%-100%F.S.应答性设定 2%F.S.至1秒以内（标准）精 度 1.0%F.S.以内再现性 0.2%F.S.以内压力耐 压 1Mpa动作差压50Kpa-300Kpa低差压选购件50Kpa未满（关于可能压力，请另行洽谈）。温度使用温度 0℃-50℃精度保证温度15℃-35℃湿度容许动作湿度10%-90%（无结露） 报警事件输出数 报警输出：1事件输出：1（开路集电极输出Max35V:50mA）分辨能力最高分辨能力1mV（1digit）通信通信形式RS232C（多项）/RS485：通信速度9600bps电源所需电源DC+15（ 5%）100mADC-15( 5%) 200mA 连接气体部分材料SUS316L，SUS316，PTFE，氟橡胶，氯丁橡胶（选购）接 头 9/16-18UNF，1/4Rc，1/4SSWLTM，1/4VCRTM 安装姿态无指定 重 量约800g