RK1500系列装备了一个密封针阀，它可以承受高真空，高压，高温和有毒气体应用：1真空系统 2半导体生产线 气体液体流体Air,N2,O2,H2,He,Ar,andCO2水流量范围0.5-5ML/MINto3-30L/MIN可选择:0.5-3ML/MIN0.5-5ML/MINto0.1-1L/MIN0.5-3ML/MIN精度FS 2%FS 2% 压力1.0MPa （ 100ML/MIN）0.7MPa （ 5L/MIN）0.5MPa （ 10L/MIN）1.0MPa （ 5ML/MIN）0.7MPa （ 150ML/MIN）0.5MPa （ 200ML/MIN）刻度10：1 可选：20：1