特点：通过安装一个温度流量传感器得到高精确的快速回应。使用一个正常关闭的阀门，并在正确方向上操作。通过CF转换功能产生多种气体。使用一个隔膜底座阀门减少死体积。反映F.S.1SCCM一分钟的流量（SRoption）。反应给燃烧控制气体产生低差压力（LPoption）。 技术标准：流量：F.S.10-500SCCM,1-5SLM（在N2转换的基础上）阀门方式：正常关闭，螺线管，膨胀饼座阀控制范围：2-100%F.S.反应时间：0-100%回应，实际流量+2%以内是1秒精度：在+1.0%F.S.之内线性：在+0.5%F.S.重复性：在+0.2%F.S.之内压力范围：F.S. 5SLM49-294kPa LP(低压)标准不同与气体和流量率 5 F.S 20SLM98-294kPa耐压性：980kPa泄露率：最大为1xPa./sec温度范围：0-50℃（精确0-50℃） 外壳：SUS316L 表盘：SUS316流体接触部分的材料：阀门座：PTFE 钢材料:BytonTM（option:Neoprene）连接方式：标准：1/4SWL 可选1/8SWL，1/4VCRTM，1/4RC电子连接：DSUB9-pin,maleKFC标准（符合SEMI标准）流量输入信号：0-5VDC流量输出信号：0-5VDC输入电源：+15VDC（+5%）100A和-15VDC（+5%）200mA