美国AALBORG公司GFC/GFM经济型质量流量控制器GFC17/GFC37/GFC47/GFC57/GFC67/GFC77GFM17/GFM37/GFM47/GFM57/GFM67/GFM77产品特点：性价比高、响应速度快、可靠性高，易于集成、环路保护、备总量计数器典型应用：CVD、PVD、刻蚀、等离子注入、溅射、ITO、玻璃镀膜、表面处理等镀膜工艺1.不锈钢构造,满量程流量范围10sccm到1000slm2.最佳工作压力25psig(1.73bars),最大入口压力500psig(34.5bars)3.0~5vdc或4~20ma信号4.集成漏率1＊10-7sml/sec(he)5.精确度 1.5%f.s6.管路连接:1/4 1/8 3/8 1/2 3/4 Swagelok(可选VCR)7.电源12Vdc/24Vdc8.响应时间:到达设定点2％所需时间＜2秒9.重复性:满量程 0.5%范围内10.温度范围5-50℃(41-122℉)