美国进口MKS质量流量控制，流量计1，2179是一种通用型弹性密封的质量流量控制器，它带有一个关闭阀，可在多种应用场合测量和控制其体的流量。2，配上合适的压力传感器，他还可以用作压力控制器。3，常闭的气密关闭阀门正向关闭时的泄漏量仅为4*10-9scc/sec(He).具有数字和模拟两种模式。4,精度为全量程的1%和读数的1%。5，具有很小的功耗：在常规直流+-15V供电工作时，但愿电流仅有100mA(在最初开机阶段为200mA)