平台(平板)的局部误差是指平台(平板)工作面局部平面度加工质量,包括工作面加工的微观质量和工作面小范围内的局部畸变。所谓加工的微观质量是指加工表面极小间距微小峰谷不平度,即表面粗糙度。表面微观质量好,耐磨损,平板使用寿命高。而工作面小范围内的局部畸变是指加工表面不平整、有变形。这里所说的工作面小范围,对小平台(平板)而占是局部位置,对大平台(平板)则是局部面积。平整性反映了平台(平板)局部误差。规格(长 宽)mm精度等级1级2级3级平面度公差(um)200 200102050300 200122460300 300122460300 400122460400 400122460400 600142870500 500142870500 600142870500 800163280600 800163280600 9001632801000 7501836901000 10002039961000 120020401001000 150024481201000 200026521301500 200028561401500 250032641521500 300035701742000 300036741842000 40004488219