大尺寸多层石英方箱是我公司自选开发并拥有自主知识产权的项目。其主要性能特点体现在尺寸大、配件多、结构复杂、尺寸精度高及加工难度大。尺寸大体现在长度649.22mm，宽度371.60mm，高度365mm，体积是一般方箱的2－3倍，可容纳12英寸的硅片。配件多体现在配件有外框、上下两层法兰及内外共计6个螺纹。结构复杂体现在主体由左侧及右侧两部分相同结构的方箱组成，每一侧底板均有螺纹、中间一层挡板，整体配有外框及上下两层法兰。尺寸精度高体现在长度、宽度及高度等主要尺寸公差均为0.76mm，相当于一般石英方箱的1/3~1/4，垂直度和平行度等主要形位公差对于如此大尺寸的石英方箱也远远超过一般石英方箱。加工难度大体现在不仅整体组装焊接困难、复杂，且每一单个的配件也有很大的加工难度。 我公司经过长时间的研究试验攻克了大尺寸多层石英方箱一系列关键环节的加工技术，实现了加工技术上的突破和创新。其中螺纹加工定位技术、45度斜孔加工定位技术、整体组装一次成型焊接技术、焊接精度控制技术及焊接应力控制技术等方面都极具特色。产品质量居国内领先并达到国际同类产品先进水平，螺纹加工技术实现国内首创。