日本新宇宙COSMOSXP-703D（自动吸引式）半导体特气检漏仪简介:--最适合于检测半导体特气的微量泄漏--采用声光报警日本新宇宙COSMOSXP-703D（自动吸引式）半导体特气检漏仪技术参数:检测对象气体半导体材料气体（胂、膦、乙硼烷、硅烷、氢气等）检测原理热线型半导体式采样方式自动吸引式可检测浓度（单位：ppm）砷烷、磷烷、乙硼烷、硅烷、氢气AsH3、PH3、B2H6、SiH4、H20.2、0.3、0.1、0.5、1.0检测表示蜂鸣器断续鸣响及指示灯闪烁应答速度10秒以内