半导体特气检测仪XD-303半导体特气检测仪XD-303特点： 采用定电位电解式传感器，对被测气体具有选择性。 高检测灵敏度。 能检测很多种类的半导体特气。 液晶数字显示。　规格型　　号XD-303AHXD-303PHXD-303BHXD-303检测对象气体砷烷(ASH3)磷烷(PH3)乙硼烷(B2H6)其它检测范围1ppm0～0.2ppm0～1ppm0～0.3ppm0～1ppm因规格而异最小刻度0.1ppm0.01ppm0.1ppm0.01ppm0.1ppm 采样方式自动吸引式应答速度60%应答40秒