AWM40000系列包括不带放大和放大/信号处理的信号。AWM42150V和AWM42300，使用和AWM2000相同的电路。AWM43300V和AWM43600V使用和AWM3000相同的电路。AWM43600V为6SLPM器件。 特点： ●多个集中安装/O形密封圈 ●陶瓷流量管（无引气管），0-1000sccm ●塑料流量管（无引气管），0-6SLPM ●高共模压力（150psi） ●工作温度可至125?C ●零点和满量程高稳定性技术指标AWM42300VAWM43300VAWM43600V流量范围（满量程） 1000sccm+1000sccm+6LPM输出电压 @标定点54.7 3.7mVDC @1000sccm5 0.15VDC @1000sccm5 0.15VDC @6LPM零点电压0.0 1.0mVDC1.00 0.05VDC1.00 0.05VDC电源（VDC）10 0.01功耗（mW）50反应时间（ms）1.0共模压力（psi）---