特点用于对千分尺测量面的平行度和平面度进行检测每组包括4种厚度带有配套的携带箱技术参数平面度：0.1um平行度：0.2um直径：30mm借助于平行平晶产生的干涉条纹图案可对测量表面的平行度进行检测通过下述方法可确定所测量表面间的平行度：在测砧上夹紧平行平晶，从心轴方向关擦在测力作用下产生的干涉条纹的数量当平行平晶约为1um（0.32um 3=0.96um）时，从测砧边缘关擦的条纹数一定不会超过一。