特点分辨率/重复精度为0.1/0.5um时，精度可高达(1.3+0.6L/600)um。确保垂直度（前部）达6um，直线度达4um。全/半空气浮动系统可调节气垫。带有基本统计功能，另外，通过RS-232C数据输出与带有SPC软件的电脑连接，可实现外部测量数据评估。半自动测量时具有单键操作功能。通过Digimatic工具实现数据输入。可选择多种信息语言。