束管真空抽气设备干式真空泵

干式机械泵，束管真空抽气设备，矿用真空泵，干式真空泵，无油干式机械真空泵

干式真空泵主要有下列几种形式：1、干式螺杆真空泵  2、 无油往复真空泵

                           3 、爪式真空泵    4、 无油涡旋真空泵

    今天我们说的束管真空抽气设备干式真空泵，故名思义，就是用于抽空束管监测系统中束管里的物质的，大家都知道，束管监测系统主要就是监测矿井下气体浓度的主要装置，它是监测员工能否正常在井下生存的重要指标，束管，做为检测气体的输送管路它的重要性也不言而喻，干式真空泵就是抽离管路里不必要的物质，让监测结果更准确。

    干式机械真空泵的应用是广泛的，主要有以下几个方面： 

1）低压化学气相沉积中的多晶硅制备工艺中； 

2）半导体刻蚀工艺。在这些生产工艺中往往用到或生成腐蚀性气体和研磨微粒； 

3）除半导体工艺外的某些产生微粒的工艺，不希望微粒混入泵油中，而希望微粒排出泵外，则用一定型式的干式机械真空泵可以满足要求； 

4）在化学工业、医药工业、食品工业中的蒸馏、干燥、脱泡、包装等，要防止有机溶剂造成污染，适合用干式真空泵； 

5）用做一般无油清洁真空系统的前级泵，以防止油污染。