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供应中空型XY压电陶瓷平台

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规 格: 行业标准 
单 价: 面议 
起 订:  
供货总量: 99999
发货期限: 自买家付款之日起 3 天内发货
所在地: 上海
有效期至: 长期有效
更新日期: 2010-08-30 23:55
浏览次数: 3
询价
公司基本资料信息
 
 
 
【供应中空型XY压电陶瓷平台】详细说明
技术指标 型号 SFS-120XY(WA) 平台尺寸 120x120mm 孔径尺寸 50x50mm 驱动装置 压电陶瓷驱动件 小位移传感器 位移传感器 行程 100±15% 分辨率(理论开环)* 1nm 分辨率(闭环)* 10nm 直线度:Xy,Xz,Yx,Yz ≤1μm 重复定位精度 ≤0.1μm 承载能力 2kg 自重 1.2kg *以上数据均为采用FINE-503控制器时的值
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