工业气体质量流量计可测量空气/氧气/氮气/氩气/二氧化碳气/氢气/天然气等清洁气体的流量，主要用于半导体、化工、冶金、空气分离、机械制造等生产线上气体消耗的内部结算；化工行业的生产过程用气的控制测量；冶金、机械制造行业中用于焊接燃烧气体的计量；食品行业中用于CO2等气体的测量等等，管道式传感器，法兰连接。工作原理　　MF系列工业气体质量流量计采用热质量气体流量传感芯片，属于质量流量传感方式的流量计，它是通过气体流动产生的热场变化来测量气体流量，由于不同质量的气体对热场的变化具有不同的影响，所以它所测的数据为质量流量。　　不同于传统的 热传感器 方式采用了多个热传感器和多个热源来测量气体的质量流量（风速式热质量流量原理），MF5000微管气体质量流量计采用了多个热传感器和一个微热源（量热式热质量流量原理），大大减少了环境对测量的影响。MF5000微管气体质量流量计的热源十分微小，几乎不需要时间进行加热。传感器插入在相对大的流场中，在无气体流动时，传感器的热源对环境无影响，不会因此引起气体对流而导致零点变化。所以，MF5000微管气体质量流量计具有极短的响应时间和优良的零点稳定性。产品特点　　1、采用微机电系统芯片作为传感器，流量计的灵敏度极高同时具有良好的零点稳定性；　　2、单个芯片上实现多传感器集成，使该流量计的量程比大于100：1；　　3、和传统的机械式流量计比较，压力损失大幅减小，极大的降低了能源消耗；　　4、采用LCD显示瞬时流量和累积流量，清晰直观，读数方便；　　5、本流量计带有RS-485通讯模块，配合上位计算机网络可实现集中管理；　　6、可以选配4-20mADC电流信号输出；　　7、通过国家防爆认证，标志为ExiaIICT4。技术指标 量程比　＞100：1精 度　 （1.0+0.15FS）%； （1.5+0.15FS）%重复性　 0.5%工作压力　＜2.5MPa2.5-4.0MPa为定制产品环境温度　-10-55℃介质温度　-20-60℃湿 度　＜95%RHLCD显示　累积流量（0.000-99999999.999Nm3），瞬时流量（0.000-999999.999Nm3/h)供电电源　8-24VDC校准条件　空气，20℃；101.325kPa可根据用户要求进行实际介质标定材 料　不锈钢连接方式　法兰数据存储　可自动存储数据通讯方式　RS485输出信号　4-20mA；脉冲防护等级　IP65防爆等级　ExiaIICT4流量数据 公称通径最大工作压力精度量程比流量范围（Nm3/h）252.5 1.0% 1.5%1：201：1000-100322.50-160402.50-250502.50-400652.50-650802.50-10001002.50-16001502.50-3600