包括各种热压氮化硼制品、BN-TiB2导电蒸发舟、高纯氮化硼扩散沅片。系列氮化硼制品具有高导热、高绝缘性、耐高温、耐腐蚀等优良性能。
导电复合陶瓷蒸发舟的主要性能及使用方法:
1.密度:>3.0g/cm3
2.电阻率:200-2000μΩ-cm根据用户要求定
3.每组舟电阻相近
4.铝蒸发速率:0.3g/min.cm3
5.使用温度:1450℃温度
6.温度过高使用
7.寿命将会缩短
8.升温速度:第一次升温10-15分
9.第二次升温2-3分
10.放一段时间
11.第一次使用升温5-10分
12.使用寿命:10-12小时(预热加蒸镀时间)
13.和使用方法有关
14.舟的安装:要使用舟向不
15.能送到铝的方向倾斜一个角度
16.使铝液流过去
17.以防干烧
18.用一个班后换一个方向安装
19.以防送丝老在一个地方
20.舟的清理:每使有一个班
21.要把舟上的沉积物用钢刷除净
22.以免影响蒸镀速率
23.舟的断电:蒸镀完每一卷后再通电1-2分
24.待铝蒸发再关电源
25.放气时待舟冷至暗红
26.再开阀以防舟炸裂
27.配套产品:石墨纸、石墨乳、氮化硼乳等。
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