A74321 加速度传感器设计生产制造工艺应用技术专利大全（本辑280元，含下列72项）（特别提示：本站的专利文献均已被编成word格式，这在业内独树一帜。） 01、微机械角加速度传感器 02、基于菲涅尔衍射微透镜的光学加速度传感器 03、加速度传感器 04、使用加速度传感器测量体育运动量的设备和方法 05、加速度传感器 06、加速度传感器 07、一种加速度传感器 08、半导体加速度传感器件及其生产方法 09、加速度传感器单元 10、加速度传感器 11、一种用加速度传感器判断列车是否丢车的方法及装置 12、加速度传感器和加速度传感器的制造方法 13、平面光波导的微重力加速度传感器及测量方法 14、半导体加速度传感器及其制备方法 15、加速度传感器 16、加速度传感器装置 17、加速度传感器 18、一种用数字信号为接口的无线加速度传感器 19、加速度传感器以及倾斜检测方法 20、电容性加速度传感器 21、加速度传感器 22、加速度传感器 23、力反馈式真空微电子加速度传感器 24、真空微电子加速度传感器 25、多维加速度传感器 26、微重力加速度级电容式加速度传感器 27、加速度传感器 28、加速度传感器及其制造方法和包含该传感器的检测装置 29、静电电容型加速度传感器及其制造方法 30、采用掺杂半导体层作为布线的半导体加速度传感器 31、加速度传感器 32、加速度传感器 33、加速度传感器及其制造方法 34、全光型硅微谐振式二维加速度传感器 35、加速度传感器 36、MEMS压阻式伺服加速度传感器及其制备方法 37、加速度传感器38、半导体器件的制造方法以及加速度传感器 39、单片集成的直拉直压微梁结构压阻加速度传感器及制作方法 40、加速度传感器以及计步器 41、环振式数字加速度传感器 42、加速度传感器 43、一种高固有频率的量程可达200万m/s的微机械加速度传感器 44、落下冲击测量系统及用于该系统的加速度传感器用元件 45、一种双E型圆膜片十字梁结构的六轴加速度传感器 46、湿法腐蚀制造微机械电容式加速度传感器的方法 47、微型硅桥式热对流加速度传感器 48、湿法腐蚀制造的微机械电容式加速度传感器 49、深沟侧壁扩散和电绝缘薄膜填充制造压阻加速度传感器及其制造方法 50、光纤耦合装置、波长可变器、压力传感器、加速度传感器以及光学装置 51、曲面贴合过载保护的硅微加速度传感器及制造方法 52、加速度传感器和加速度检测装置及定位装置 53、加速度传感器及其制造方法 54、集成硅微电阻式加速度传感器及其制造加工方法 55、加速度传感器 56、加速度传感器及使用该加速度传感器的加速度装置 57、压电型加速度传感器及其制造方法和加速度检测方法 58、加速度传感器与三轴加速度传感器 59、双电极单晶硅电容加速度传感器及其制造方法 60、加速度传感器 61、半导体集成电容性加速度传感器及其制造方法 62、半导体加速度传感器的制造方法 63、半导体加速度传感器 64、可提供高精度探测水平具有加速度传感器的传感器装置 65、加速度传感器及其制造方法 66、单体加速度传感器 67、半导体加速度传感器 68、加速度传感器 69、一种坡度角和加速度传感器 70、气体线加速度传感器 71、一种加速度传感器 72、一种硅梁压阻加速度传感器及其制造方法