多晶硅生产工艺配方制造制备技术专利大全 01、一种太阳能电池用高纯多晶硅的制备方法和装置02、一种制备太阳能级多晶硅的方法03、形成多晶硅薄膜的方法及用该方法制造薄膜晶体管的方法04、用于多晶硅低温结晶化的金属催化剂掺杂装置及通过该装置进行掺杂的方法05、一种生产多晶硅用的还原炉06、多晶硅的制造方法07、多晶硅栅极掺杂方法08、一种多晶硅生产过程中的副产物的综合利用方法09、激光薄膜多晶硅退火光学系统10、激光薄膜多晶硅退火系统11、用于连续横向固化技术的掩膜及用其形成多晶硅层的方法12、具有低掺杂漏极结构的低温多晶硅薄膜晶体管的制造方法13、用于在衬底上淀积多晶硅层的装置14、高压水气退火的多晶硅薄膜晶体管组件的制作方法15、铸模及其形成方法,和采用此铸模的多晶硅基板的制造方法16、一种多晶硅刻蚀工艺中的颗粒控制方法17、一种能够消除残气影响的多晶硅刻蚀工艺18、一种提高各向异性的多晶硅脉冲刻蚀工艺19、一种减少颗粒产生的多晶硅栅极刻蚀工艺20、一种能够防止器件等离子体损伤的多晶硅刻蚀工艺21、具有平坦表面的多晶硅薄膜及其制造方法22、多晶硅-绝缘层-多晶硅电容和高阻多晶硅器件及制作方法23、用于沉积多晶硅的CVD装置24、一种多晶硅刻蚀中的干法清洗工艺25、多晶硅薄膜制造方法和具有其的薄膜晶体管的制造方法26、一种去除多晶硅刻蚀工艺中残留聚合物的方法27、一种防止多晶硅刻蚀中器件等离子损伤的刻蚀工艺28、双胆碱和三胆碱在涂石英多晶硅和其它材料清洁中的用法29、限定多晶硅图案的方法30、激光退火多晶硅薄膜晶体管栅绝缘层的制备方法31、用于多晶硅制作的辅助激光结晶的方法32、形成多晶硅薄膜的方法，包含多晶硅薄膜的薄膜晶体管及其制造方法33、浸沾法金属诱导碟形晶畴多晶硅薄膜材料及制备和应用34、溶液法金属诱导晶化大晶粒多晶硅薄膜材料及制备和应用35、硅薄膜退火方法和由该方法制造的多晶硅薄膜36、薄膜晶体管与多晶硅层的制造方法37、具有多晶硅浮动隔离层的镜像存储单元晶体管对38、激光辐射方法和形成多晶硅薄膜的装置39、有机发光二极管显示面板及其多晶硅通道层的形成方法40、具有单层多晶硅的镜像非易失性存储器单元晶体管对41、单层多晶硅电可擦可编程只读存储器42、一种改善线条粗糙度的多晶硅刻蚀方法43、形成多晶硅结构44、在半导体装置中形成多晶硅层的方法45、制备多晶硅薄膜的方法以及用其制备半导体器件的方法46、低温多晶硅薄膜晶体管及其通道层的制造方法47、低温多晶硅薄膜晶体管全集成有源选址基板及制备方法48、一种制备多晶硅的方法49、形成具有粗糙表面的多晶硅的方法50、彩色多晶硅微粒及其制备方法51、一种用于制备多晶硅绒面的酸腐蚀溶液及其使用方法52、多晶硅薄膜残余应变的在线检测结构及检测方法53、一种抑制多晶硅针孔的多晶硅层缓冲局部场氧化硅结构工艺方法54、以连续式侧向固化法形成多晶硅膜的方法及其光罩图案55、多晶硅的生产装置56、形成具高电阻值的多晶硅薄膜的方法57、利用双镶嵌工艺来制造T型多晶硅栅极的方法58、一种纳米线宽多晶硅栅刻蚀掩膜图形的形成方法59、15-50纳米线宽多晶硅栅的刻蚀方法60、应用于高效能薄膜晶体管的多晶硅退火结构及其方法61、形成多晶硅的方法和在硅基材料中的MOSFET器件62、多晶硅膜的形成方法63、制造多晶硅薄膜的方法及用其制造晶体管的方法64、多晶硅薄膜晶体管的多晶硅膜的形成方法65、制造多晶硅薄膜的方法和使用该多晶硅的薄膜晶体管66、无粉尘且无微孔的高纯度粒状多晶硅67、形成多晶硅锗层的方法68、多晶硅化金属栅极结构及其制造方法69、低温多晶硅薄膜电晶体基板及其制作方法70、制作低温多晶硅薄膜的方法71、一种制备多晶硅绒面的方法72、减小微沟道效应的多晶硅刻蚀工艺73、用场效应管和双极基极多晶硅层制造多晶硅电容器的方法74、测量多晶硅薄膜热膨胀系数的测量结构及其测量方法75、超小粒径多晶硅的结构和方法76、光罩与应用其形成多晶硅层的方法77、低温多晶硅薄膜的制造方法78、多晶硅层的结晶方法79、多晶硅薄膜的制造方法80、低温多晶硅薄膜晶体管的制造方法81、多晶硅的制作方法和使用多晶硅的开关器件82、制造多晶硅层的方法153200410062489.1提高深亚微米多晶硅栅刻蚀均匀性的方法83、形成多晶硅层及多晶硅薄膜晶体管的方法84、基于电感耦合等离子体刻蚀多晶硅及制备超细线条的方法85、将非晶硅转换为多晶硅的方法86、利用准分子激光再结晶工艺来制作多晶硅薄膜的方法87、多晶硅氢还原炉88、薄膜晶体管的多晶硅制造方法89、于基板上形成多晶硅层的方法90、半导体电路制造的多层多晶硅瓦片结构91、用于增加多晶硅熔化速率的间歇式加料技术92、用于结晶多晶硅的掩膜及利用该掩膜形成薄膜晶体管的方法93、利用准分子激光退火工艺制作多晶硅薄膜的方法94、多晶硅薄膜的晶粒尺寸的控制及其检测方法95、一种四氯化硅、多晶硅和石英玻璃的联合制备法96、低温多晶硅薄膜的制造方法及低温多晶硅薄膜晶体管97、制备多晶硅的方法98、一种在陶瓷衬底上沉积大晶粒多晶硅薄膜的方法99、多晶硅的定向生长方法100、多晶硅、其生产方法及生产装置101、多晶硅层的制作方法102、由多晶硅装料制备熔化的硅熔体的方法和装置103、利用放热反应制备多晶硅的方法104、制备多晶硅颗粒的方法和装置105、多晶硅化学气相沉积方法和装置106、多晶硅棒及其制造方法107、低温多晶硅有机电激发光装置的制法108、多晶硅膜的制造方法109、用三氯氢硅和四氯化硅混合源生产多晶硅的方法110、在半导体制作过程中通过氘以形成多晶硅层的方法111、多晶硅棒及其加工方法112、多晶硅间介电层的制造方法购买资料均赠送最近两年的最新专利和文献资料，欢迎订购！