A67021 三氯硅烷(三氯氢硅)生产技术配方制备工艺专利大全 （本辑280元，含下列16项）（特别提示：本站的专利文献均已被编成word格式，这在业内独树一帜。） 01、一种三氯氢硅提纯方法02、三氯氢硅加压提纯方法及其装置03、大型三氯氢硅合成装置及合成方法04、一种灌装电子级三氯氢硅钢瓶清洗方法05、用三氯氢硅和四氯化硅混合源生产多晶硅的方法06、四氯化硅氢化生产三氯氢硅的方法07、三氯氢硅(SiHCl3)的制备08、制备三氯硅烷的方法09、三氯硅烷的生产方法10、r-氯丙基三氯硅烷的制备工艺11、3-氯丙基三氯硅烷的制备方法12、乙烯基三氯硅烷的制备方法及其装置13、通过四氯化硅的催化加氢脱卤制备三氯甲硅烷的工艺14、通过四氯化硅的催化加氢脱卤制备三氯甲硅烷的方法15、生产三氯硅烷的方法和用于生产三氯硅烷的硅16、提纯三氯硅烷和四氯化硅的方法和设备