超纯水是水中电解质几乎全部去除，水中不溶解的胶体物质、微生物、微粒、有机物、溶解气体降至很低程度，电阻值在10兆欧姆以上的水。传统制备超纯水的工艺是采用多级蒸馏法或离子交换法来制取，近年来，随着膜分离技术的快速发展。超滤，微滤，反渗透过滤等工艺在水处理领域得到广泛应用。目前制取超纯水的工艺有反渗透，离子交换及EDI（电去离子）。超纯水被广泛应用于电子、电力，化工，电镀，锅炉及医药等行业。