3.1 系统初始化 

每套控制程序初始化都是必需的，每一次PLC上电或对PLC强制复位都要初始化，主要对在程序中使用的各种计数器、定时器、寄存器等进行复位和设置，同时保留上次运行需要记忆的各种数据，完成运行前的各项准备工作。

    3.3人机界面 

    控制柜上人机界面可使过程可视化，智能化，方便系统调试，增强系统故障之后的恢复能力，改善系统的可维护性，降低运行成本。 

    根据画面显示信息量采用十八个画面，各画面之间通过触摸键进行切换，同时触摸屏上各类组件的内存单元和与PLC中数据存储区的的单元相关联，构成系统整体监控。根据设备工艺要求设计了参数设定、系统调试、故障信息查询参数设定等画面。

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UNIT UFC-1660/ 3 SLM / NF3

PATLITE WME-302AFB-RVG, SIGNAL TOWER LAMP

PATLITE WM-TFB, SIGNAL TOWER LAMP, 02-176053-00, Novellus

MFC STEC SEC-7440 / O2 / 1 SLM

MFC STEC SEC-7440/ CO / 100 SCCM

UNIT UFC-1100 / SF6 / 200 SCCM

AREA FC-7800CD / 1 SLM / GAS : SIH4

MFC UNIT UFC-8161 3.0L / HE-D

AREA FC-7800CD / 200 SCCM / GAS : SIH4

MFC MYKROLIS FC-260 / 0.2 SLPM / N2 / 150 PSIG MAX

STEC MFC SEC-7450M / NH3 / 10 SLM

UNIT UFC-1100A / SIH4 / 200 SCCM

UNIT UFC-1100 / SIH4 / 1000 SCCM

UNIT UFC-1663 / 100CC / PH3

STEC MFC SEC-7450M / C2F6 / 5 SLM

UNIT UFC-1100A / C2F6 / 5 SLM

MFC MYKROLIS FC-260 / 200 SCCM / SIH4 / 150 PSIG MAX