（五）程序设计

1. 程序设计

根据系统的控制要求，采用合适的设计方法来设计PLC程序。程序要以满足系统控制要求为主线，逐一编写实现各控制功能或各子任务的程序，逐步完善系统指定的功能。除此之外，程序通常还应包括以下内容：

1）初始化程序。在PLC上电后，一般都要做一些初始化的操作，为启动作必要的准备，避免系统发生误动作。初始化程序的主要内容有：对某些数据区、计数器等进行清零，对某些数据区所需数据进行恢复，对某些继电器进行置位或复位，对某些初始状态进行显示等等。

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2）检测、故障诊断和显示等程序。这些程序相对独立，一般在程序设计基本完成时再添加。

3）保护和连锁程序。保护和连锁是程序中不可缺少的部分，必须认真加以考虑。它可以避免由于非法操作而引起的控制逻辑混乱，。

PFEIFFER TPS 601 POWER CONTROLLER

PFEIFFER TPS 600 POWER CONTROLLER

SMC L-Motion Slit valve, XGT221-32222-1F

SMC L-Motion Slit valve, XGT222-32222-1F​-X337

RF HF CABLE / ION SRC HF / NOVELLUS SPD-S, 03-255004-00

WJ 999/ 1000, 909457-001, BAFFLE,MAIN,100​0,-WPL

WJ 999/ 1000 , CARD,CONTROLLER​,SERVO,MOTOR,2 AX / 085896-000

P5000 Throttle V/V ASSY / Vexta Stepping motor / PX245-02AA-C4

CABLE ASSY,CA57-4, RF Generator, Novellus 03-00288-04 / A

PFEIFFER DCU 001 / Display and operating Unit /PM 041 816 AT

MKS Manometer Gauge, 223B-22412, 27-156444-00 , 1 Torr, Novellus

AMAT 0100-09153 REV E / Gas Panel BD / P5000 BD

WJ 999/ 1000 , MKS 1253E-14167 VALVE,CONTROLLE​R,EXHAUST THROTTLE / 088496-000

WJ999/ 1000, 910402-001 , CARD,INPUT,TC48​6- APL

WJ999/1000, 912086-001 / SENSOR,HEATER,I​NFRARED,ASSY- APL

VAT 02010-AA-1009 Transfer Vacuum VALVE / Working Condition

CHEMRAZ 5641-1560-SC657​, FORMED O-RING