是否提供加工定制是类型质量流量计测量范围1000（m3/h）精度等级±1 %公称通径10（mm）适用介质气体工作压力10（MPa）工作温度50（℃）（1）流量范围： 0~5,10,20,30,50,100,200,300,500 SCCM0~1, 2, 3, 5,10，20，30 50 100 ..1000SLM（2）准确度（%F·s）： ±1 % F.S（20，30SLM ±2 % F.S）（3）线性（%F·s）： ±(0.5~1) % F.S（4）重复精度（%F·s）： ±0.2 %F.S（5）响应时间(sec) 电特性： 10气特性： 1~4（6）工作压差范围(MPa)： 0.05~0.3（7）耐压(MPa)： 10（8）工作环境温度（℃）： 5~45℃（9）输入输出信号电压：0~ 5.00V(输入阻抗大于100K, 输出电流不大于3mA)（10）电源： 15V±5% 50mA；-15V±5% 200mA（11）调节阀常闭电磁调节阀（12）流量控制范围：2~100%F.S（13）温度系数： 0.1%F.S/℃（14）漏率： 1*10-7 Pa*m3/s(He)（15）外形尺寸（mm） 125×32×105（16）重量（kg） 1.0天津泽益诚科技有限公司联系人：李先生联系电话：18622050785 www.zeyicheng.com