SMX-BEN台式X射线荧光光谱薄膜成分、薄膜厚度测量系统产品特色∶1.针对薄膜太阳能电池生产过程研发、工艺开发、失效分析过程而设计，有效减低成本，提供产品品质。2.超大样品室，高：56厘米、宽：54厘米、长：74厘米。3.针对CIGS各种镀层材质的第一滤波器，共5种4.样品台X-Y-Z三轴自动定位，移动范围20x20x15cm，带防撞保护、自动聚焦、LED灯照明功能。5.微聚焦、带铍窗、高性能X射线源6.采用最新高科技的高灵敏度的硅PIN检测器，灵敏度高，寿命长。7.配多规格圆形及矩形电机驱动定位准直器8.辐射安全保护装置9.MiraXRF软件系统功能强大，具备数据分析、传输及以太网功能SMX-BEN属高阶的薄膜太陽能電池分析儀薄膜太陽能電池CIGS/CdTe分析儀可分析范围：(1)分析CIGS各鍍層的厚度及成份同時測量。(2)分析CdTe之各鍍層的厚度及成份同時測量。(3)三、五族元素各鍍層的成分比例及厚度分析技术参数最大50kV，多段電壓切換4-1000μA，可做自動調整設定共五個滤波器，自动切换电冷式侦测器