射线荧光分析装置是使用Ｘ射线照射样品，对产生的荧光Ｘ射线的能量进行检测，测定构成样品的元素种类及含量的装置。可无损地进行固体、粉体、液体、磁盘、单晶片等的元素分析，广泛应用于各个领域。特别是最近，以欧盟的报废电子电气设备指令（WEEE）、电子电气设备所含特定有害物质限制使用指令（RoHS）、报废汽车指令（ELV）以及玩具指令（ASTMF963，EU_EN71）等法规为代表的绿色采购及环境分析之中，要求更为微量、更为迅速的分析。为满足这种需求，畅销全球的EDX系列达到了更高的灵敏度与精度。通过配置新型1次滤光片和高计数电路，灵敏度比以往机型提高2倍以上！ 配备新型1次滤光片 为提高Cd、Pb等有害重金属的检测灵敏度，采用2种新型滤光片。通过提高S/N比、降低散射线，得到了比以往机型更高的灵敏度。 计数系统的改进 经过改进，系统能够更高效地检测从样品产生的X射线荧光。以此降低了检测器的饱和，可进行较以往机型更高输出的测定。并有助于提高分析精度。通过在测定前预先设定目标管理精度，当达到管理值时，自动结束测定。特别是在目标元素含量较高时，可在短时间内自动结束测定。既提高了分析效率，又无需以往根据经验设定测定时间，就可得到目的精度的分析结果，因此，便于管理。