金属台面尺寸:(MM)340*152 玻璃台面尺寸:(MM)196*96 X坐标行程:(MM)150 Y坐标行程:(MM) 50 Z坐标行程:(MM)90调焦 仪器测量精密度:3 L/200 X、Y坐标数显分辨率:0.5um 1各部分用料及参数 A、投影屏 1、投影屏尺寸(MM)Φ312,使用范围大于Φ300,采用日本光刻技术,刻有米字线。 2、投影屏旋转范围:0-360o 3、旋转角度数显分辨率:1′或0.01o,采用日本旋转编码器。 B、物镜 1、放大倍数: 10X(必备) 20X(选) 50X(选) 100X(选) 2、物方线视场(MM):Φ30 Φ15 Φ6 Φ3 3、物方工作距(MM):77.7 44.3 38.4 25.3 C、数距处理系统 E、冷却方式:强制风冷(3只进口滚珠轴流风机) F、仪器电源:110V/220V(AC)50/60HZ,总功率400W G、仪器尺寸:长*宽*高(MM):770*550*1100 H、X、Y工作台采用球墨铸铁铸造、精密加工而成,采用特殊定型稳定化处理,大大提高测量精度与稳定性。 传动方式:采用日本无牙光杆传动。