高纯氮化硅靶材(Si3N4) | ||
物理性质 | 颜色 | 灰白色 |
密度 | 3.44g/cm3 | |
熔点 | 升华 | |
技术指标 | 纯度 | 99.9%(3N) |
致密度 | >99% | |
切面平整度 | 优 | |
公差 |
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