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技术参数：
参数型号 | MHDY50 |
激光波长 | 1.064μm |
划片精度 | ≤±10μm |
最大划片厚度 | 1.2mm |
划片线宽 | ≤50μm |
激光重复频率 | 200Hz~50kHz |
最大划片速度 | 130mm/s |
激光功率 | 50W |
工作台幅面 | 360×360mm |
使用电源 | 380V（220V）/50Hz/1.2kVA |
冷却方式 | 外挂式恒温循环水冷 |
工作台 | 双气仓真空吸附，T型台双工位交替工作 |
控制方式数控 | 数控 |
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